Características principais do sistema de inspeção de wafer Olympus de 12 polegadas:

• Transporte robusto, confiável e seguro

O sistema de inspeção de wafers Olympus de 12 polegadas continua a robustez, confiabilidade e segurança dos modelos de geração anterior, permitindo o transporte seguro e confiável de wafers de 300 mm, bem como de folhas finas e wafers Warped.

● Design de engenharia humana e mecânica, fácil de operar

O sistema de inspeção de wafer Olympus de 12 polegadas pode configurar livremente o modo de inspeção, considerando a operabilidade na engenharia traseira no design, prestando especial atenção à facilidade de operação do equipamento. Os dois modelos correspondem a FOUP (Load Port) e FOSB, respectivamente.

O sistema de inspeção de wafer Olympus de 12 polegadas otimiza a posição de macroobservação e a disposição centralizada das unidades operacionais para melhorar a operabilidade do equipamento.

Especificações técnicas do sistema automático de inspeção de wafer de 300 mm AL120-12