AMC Sistema de Monitoramento de Poluentes Moleculares do Ar ARES-µVOC

Visão geral:

Ácido acetico, ácido oxalico, aminas, N-metilpirrolacona (NMP), hexametildisilamina (HMDS), ftalato diocetano (DOP), ftalato diocetano (DBP), ftalato dietílico (DEP), isopropanol, acetona, boroato de trimetilo, ftafeno, fosfato de trietilo --- e outras substâncias orgânicas.

Os poluentes moleculares do ar (AMC) são um fator crítico para os processos de produção de alta tecnologia, especialmente na indústria de microeletrônica, onde os poluentes orgânicos são um fator negativo no processo de produção e podem levar a um aumento dos custos para as empresas de alta tecnologia devido a problemas de qualidade dos produtos.

A produção sem poluentes moleculares atmosféricos é o objetivo ideal de produção através do controle da fonte de poluentes, controle da propagação, monitoramento em tempo real da concentração de poluentes e combinação de filtros multiestágio e sistemas de vento frescoA concentração de AMC ajuda a controlar a fonte de poluentes, estabilizar a produção e prevenir a redução repentina da vida útil dos filtros.

A Ares-µVOC oferece aos clientes um programa de monitoramento on-line rápido e contínuo dos poluentes moleculares do ar, em tempo real, sem amostragem e medição offline.

Limite de detecção atingidosub-ppb 级

Poluentes moleculares do ar em ambientes de sala limpaAMC， Internamente, a liberação de materiais de construção, a liberação de equipamentos e materiais, a fuga de produtos químicos durante processos como corrosão e fotografia, a geração de pessoas, vazamentos de tubulações, a liberação durante a manutenção e reparação de equipamentos, etc., externamente, os poluentes de fase gás do ar ambiente e as emissões de gases de escape da sala limpa são reenviadas para a sala limpa.

Uma vez...O excesso de poluentes moleculares do ar AMC pode causar uma série de consequências graves, como o abandono de wafers, a suspensão da produção, a remodelação de salas limpas, etc.

Problemas dos poluentes moleculares do arDe sala limpa a máquina de produção

ComCom o aumento dos custos de produção de produtos IC, o monitoramento dos poluentes moleculares do ar AMC tornou-se cada vez mais importante.

Os poluentes se espalham do processamento para a sala ultra-limpa e os componentes aumentam, e os poluentes moleculares vêm de várias fontes, como a produção de agentes químicos, materiais de construção, equipamentos de sala limpa, operadores, etc.

AresOs sistemas de VOC-µ significam identificar potencialmente as associações entre poluentes moleculares do ar e problemas de poluição e redução, medições completas de sub-ppb em tempo real de todos os componentes em escala completa, fornecendo monitoramento AMC precoce e identificação rápida das causas desses problemas de poluição.

Princípio de funcionamento:

A cromatografia de gás GC é uma técnica comumente usada para separar várias misturas complexas que dependem da separação multicomponente de misturas orgânicas voláteis em colunas cromatográficas.

Quando diferentes materiais orgânicos voláteis são separados da coluna cromatográfica para detectar mudanças na condutividade elétrica através de um detector de íons de chama de hidrogênio / ar, determinando assim a concentração de diferentes componentes, um sistema único de varredura e transporte de gás permite que o instrumento alcance os limites de detecção sub-ppb.

Destaques:

• Monitoramento contínuo de qualidade on-line de todos os sistemas de automação

• Monitoramento de baixas concentrações de VOC

• Medição separada da composição orgânica

• Limite de detecção de sub-ppb

• Software integrado de computador e controle, bem como recursos de coleta e processamento de dados

Parâmetros técnicos: