Espectrómetro de massa de controle de processo Atonarp Aston ™Fornecedor global

Quarto 702, 7o andar, Edifício 36, No. 1888, Xinjinqiao Road, Nova Distrito de Pudong, Xangai, 201206

Espectrómetro de massa de controle de processo Atonarp Aston ™ Especificações técnicas:

Ferramenta universal para controle de processo em tempo real, gás corrosivo, anticondensação
Plataforma de análise molecular in situ para fabricação de semicondutores que fornece dados operacionais em tempo real
Fonte de ionização de plasma, sem fios, mais durável
Integração completa com ferramentas de produção em massa
Aston ™ Analisador de espectro de massa de processoComo uma plataforma poderosa, pode substituir uma variedade de ferramentas tradicionais, oferecendo níveis de controle sem precedentes, incluindo fotogravura, etching e sedimentação de eletrodímetros e condutores, limpeza de câmaras, combinação de câmaras e dissolução.

Aston ™ Analisador de espectro de massa de processoParâmetros técnicos

Tipo	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
Modelo	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
Separação de qualidade	Barra de quatro níveis
Sistema de vácuo	Bomba molecular	Bomba molecular Bomba de membrana	Bomba molecular	Bomba molecular Bomba de membrana	Bomba molecular	Bomba molecular Bomba de membrana
Detectores	FC /SEM
Escala de qualidade	2-285		2-220		2-285
Resolução	0.8±0.2
Limite de detecção	0.1 PPM
Temperatura de funcionamento	15-35“℃
Potência	350 W
Peso	15 kg
Dimensões	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ Aplicações: Desenvolvimentos significativos no controle e otimização de processos de semicondutores para melhorar a produção, o rendimento e a eficiência dos processos de fabricação de semicondutores
Aston ™ É um espectrômetro de massa compacto em linha totalmente novo e robusto para monitoramento e controle de gases em aplicações de fabricação de semicondutores e controle de processos industriais, combinando alta precisão quantitativa e tempo real com robustez e confiabilidade de produção, como a análise de detecção de gases de escape de bombas secas de semicondutores, permitindo monitoramento e diagnóstico em linha.
CVD / ALD: Transição óxido-nitreto e análise de composição
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Identificação de moléculas rastreadoras
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

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Agora, algumas marcas recrutam agentes de cooperação sincera, os interessados são bem-vindos a entrar em contato com a Srta. Baidong Ye de Xangai 1391-883-7267
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