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Cromométrico de íons de hélio para análise de diclorosilano
O instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostra
Detalhes do produto
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Cromométrico de íons de hélio de diclorosilanoO instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostragem têm uma via de ar de proteção de sopro; Toda a máquina é projetada com uma caixa de colunas múltiplas e equipada com um sistema de correção automática da pressão de amostra para garantir o volume de amostra de diferentes substâncias. Os produtos receberam os títulos de Projeto A de Transformação de Realizações de Alta Tecnologia de Xangai, Novos Produtos Principais de Xangai, Programa de Tocha de Xangai e Produtos de Instrumentos Científicos de 2009.

Nome do Projeto Indicadores
Triclorhidrosilício (SiHCl)3Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 10
Conteúdo (monoclorosilano + cloreto de hidrogênio) (SiH)3Conteúdo de Cl + HCl ", em cloreto de hidrogênio (fracções de volume) / l0-6 50
Nitrogênio (N)2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 1
Oxigênio + Argônio (O)2+ Ar) teor (fracções em volume) / l0-6 1
Conteúdo de monóxido de carbono (CO) / l0-6 1
Hidrogênio (H)2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 10
Dióxido de carbono (CO)2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 1
Conteúdo total de hidrocarbonetos (THC) em metano (CH)4(Fração de volume) / l0-6 1
Metais e outros elementos (Boro + alumínio) (B + Al) / (µg / kg) ≤ 0.1
(Fósforo + Arsénico) (P + As) / (µg / kg) ≤ 0.3
Conteúdo de gálio (Ga)/(µg/kg) ≤ 0.1
Antimónio (Sb) / (µg/kg) ≤ 0.1
Índio (In) / (µg/kg) ≤ 0.1
Conteúdo de cálcio (Ca)/(µg/kg) ≤ 1
teor de cromo (Cr)/(µg/kg) ≤ 1
Conteúdo de ferro (Fe)/(µg/kg) ≤ 5
Conteúdo de Potássio (K)/(µg/kg) ≤ 1
Conteúdo de sódio (Na)/(µg/kg) ≤ 0.2
Conteúdo de níquel (Ni)/(µg/kg) ≤ 1
Conteúdo de molybênio (Mo) / (µg / kg) ≤ 0.1
Conteúdo de manganês (Mn) / (µg / kg) ≤ 0.2
Conteúdo de cobre (Cu)/(µg/kg) ≤ 0.2
Conteúdo de cádmio (Cd) / (µg/kg) ≤ 0.5
Conteúdo de cobalto (Co)/(µg/kg) ≤ 0.5
Conteúdo de zinco (Zn)/(µg/kg) ≤ 0.1

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