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Análise de tetraclorosilano com cromómetro de íons de hélio
O instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostra
Detalhes do produto
- Descrição do produto
Cromométrico de íons de hélio para análise de tetraclorosilanoAplicável à detecção de impurezas em gases usados na indústria eletrônica, a concentração de detecção pequena pode chegar a 5ppb. O instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostragem têm uma via de ar de proteção de sopro; Toda a máquina é projetada com uma caixa de colunas múltiplas e equipada com um sistema de correção automática da pressão de amostra para garantir o volume de amostra de diferentes substâncias. Os produtos foram premiados com o projeto de nível A de transformação de resultados de alta tecnologia em Xangai.
| Silício (SiHCl)3Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| Diclorosilano (SiH)2Cl2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| Metildiclorosilano (SiCl)2CH4Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| Metais e outros elementos | (Boro + alumínio) (B + Al) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.1 |
| (Fósforo + Arsénico) (P + As) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.3 | |
| Conteúdo de gálio (Ga)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| Antimónio (Sb) / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| Índio (In) / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| Conteúdo de cálcio (Ca)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| teor de cromo (Cr)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de ferro (Fe)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de Potássio (K)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de sódio (Na)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de níquel (Ni)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de molybênio (Mo) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de manganês (Mn) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de cobre (Cu)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de cádmio (Cd) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de cobalto (Co)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de zinco (Zn)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Conteúdo de vanádio (V) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
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