Finalidades da manutenção do ICP:
1) Detecção oportuna de falhas no instrumento;
2) Detectar perigos ocultos do instrumento, detectar oportunamente e propor medidas preventivas;
3) através da manutenção do instrumento, melhorar a sensibilidade do instrumento e prolongar a vida útil do instrumento;
Aumentar a estabilidade do instrumento para garantir a precisão dos dados de teste;
Conteúdo da manutenção do instrumento ICP:
1) Limpe toda a poeira da superfície da placa, ventilador e instrumento
2) Limpeza do vaporizador, câmara de vaporização, cone de iluminação e tocha
3) substituir a água circulante de resfriamento e limpar os tubos
4) junção de tubo de vácuo, válvula eletromagnética interruptor de seleção de verificação ajustar a posição da fenda do feixe
5) inspeção do desempenho da bomba de vácuo, substituição do óleo da bomba, anel de vedação, peneira molecular
6) Verifique que não há vazamento de gás entre o cilindro e o ICP, a qualificação do circuito é determinada
7) Inspeção do gás do instrumento, sensor de gás auxiliar, limpeza
8) Manutenção de remoção de poeira do gerador de alta frequência RF, manutenção da câmara de luz de vácuo
9 ) Resolver problemas operacionais do usuário