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Microscópio de inspeção de semicondutores de wafer MX6R
As operações do microscópio de inspeção de semicondutores de wafer de coluna MX6R foram projetadas de acordo com a engenharia ergonômica para reduzir
Detalhes do produto
telescópio triplo de visão ampla
Assim como o telescópio triplo de dobradiça, a direção da imagem é a mesma que a direção real do objeto, a direção de movimento do objeto é a mesma que a direção de movimento da imagem, para facilitar a observação e a operação.
Design de plataforma móvel de grande viagem
Adotando um design de plataforma plana de 6 polegadas, com um percurso de 158 x 158mm, pode ser usado para a detecção de wafers ou FPD de tamanho correspondente, ou também para a detecção de matrizes de amostras de tamanho pequeno.
Convertidor de objetivos de alta precisão
O conversor é projetado com rolamentos de precisão, a mão de rotação é leve e confortável, a precisão de posicionamento repetido é alta e a concentração do objetivo após a conversão também é melhor controlada.
Design de estrutura robusta
Espelho de microscópio de grau de inspeção industrial, com baixo centro de gravidade, alta rigidez e alta estabilidade, garante a resistência sísmica do sistema e a estabilidade da imagem.
Seu mecanismo coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial O sistema de resfriamento circulante do vento é projetado no interior da base e o uso prolongado também não sobreaquece o rack.
MX6RParâmetros de configuração do microscópio de inspeção de semicondutores
Modelo |
MX6R |
MX6RT |
Métodos de observação opcionais |
Campo claro/campo escuro/polarização/DIC |
Campo claro/campo escuro/luz polarizada/DIC/luz transmitida |
Sistema óptico |
Sistema óptico de correção de distância ilimitada |
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óculos |
PL10X/22 Óculos de alto campo plano |
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Objetivos |
LMPL-BD objetivo de campo escuro-metálico de longa distância de trabalho ilimitada |
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Caixa de observação |
Tal como o cilindro de observação, trio articulado de 25°, proporção espectral, duplo: trio = 100: 0 ou 0: 100 |
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Conversor |
Convertidor de campo escuro com inclinação interna de 5 buracos com slot DIC |
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Convertidor de campo escuro com inclinação interna de 5 buracos | ||
Estação de carregamento |
6” Plataforma móvel mecânica de três camadas, distância 158 x 158 mm, mesa de vidro, rodas móveis X e Y na mão direita, com alça de embreagem para movimentação rápida |
6” Plataforma móvel mecânica de três camadas, curso de reflexão 158x 158mm, curso de transmissão: 100x100mm, mesa de vidro, rodas móveis X e Y na mão direita, com alça de embreagem para movimentos rápidos |
Espelho do microscópio |
Coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial Transformador de ampla tensão integrado de 90-240V, saída de energia de circuito único |
Coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial coaxial Transformador de ampla tensão integrado de 90-240V, saída de energia dupla |
Sistema de iluminação reflexiva |
Com apendice de campo de visão variável e apendice de abertura, ambos com centro ajustável; Filtro de ficha de cor e ficha de dispositivo de polarização; Barra de tração com interruptor de iluminação inclinada, lâmpada halogênica 12V100W, intensidade de luz contínua ajustável |
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Sistema de iluminação transmissível |
/ |
Um único LED de alta potência de 5W, branco, intensidade de luz ajustável continuamente. Foco N..A.0.5 com apertura variável |
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