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Forno anóxico Cola fotográfica Forno de wafer
1. visão geral: forno sem oxigênio embalagem wafer tanque sem oxigênio, forno sem oxidação, no trabalho, o estúdio está cheio de gás inerte CO2, N2, p
Detalhes do produto

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

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I. Resumo:
A wafer do forno anóxico encapsula o tanque anóxico, o forno anóxico, no trabalho, o estúdio é preenchido com o gás inerte CO2, N2, impedindo que o material seja oxidado durante a torrefação. Uso do forno inoxidável na indústria: embalagem IC, LCD, Transistores, sensores, diodos, osciladores de cristal de quartzo, placas de circuito integrado híbrido ...


Parâmetros técnicos do produto
Nome e modelo: Forno anóxico de câmara dupla AO-2DSL FCNET (suporte à função online de rede ONET-240)
Principais indicadores técnicos:
2.1 tamanho de trabalho: W1000 * D500 * H610 * 2 mm
Fonte de alimentação: 380V 3φ 50HZ 18KVA
O teor de oxigênio deve ser <= 100 ppm.
2.4 Faixa de temperatura: RT (temperatura ambiente) + 60 ~ 300 ℃;
2.5 uniformidade de temperatura: ± 1,5%;
2.6 taxa de aquecimento: temperatura ambiente ~ 250 ° C, 45 minutos (teste de caixa vazia). (Alta temperatura do processo do cliente 300 ℃)
2.7 refrigeração a ar: refrigeração de 250 ° C a 70 ° C em 100 minutos


3, estrutura da caixa:
3.1 forno é composto por parte da caixa, parte do gabinete de controle elétrico, aquecimento elétrico e parte do sistema de ventilação, estrutura razoável, aparência bonita e generosa;
3.2 toda a semana de solda de argão, silicone resistente a altas temperaturas, gerador de calor elétrico de aço inoxidável SUS304 #, a própria mesa de proteção da máquina produz micro-poeira;
Material da caixa 3.3: a caixa externa usa a placa de aço de carbono SS41 # com duas camadas de revestimento à prova de luz após o tratamento com sal da pele de fosfato, para evitar a pequena poeira;
3.4 material de bile interna: o uso de importação SUS304 # japonês 800 espessura de 2mm espelho de chapa de aço inoxidável espelhado, e limpar com soda alcalina, remover a poluição de óleo para evitar a produção de partículas ao assar;
3.5 material do barril médio: o uso de importação de SUS304 # japonês 800 de espessura de 2mm de espelho de chapa de aço inoxidável, e limpeza por soda alcalina, descontaminação de óleo e soldadura de argão processamento selado (anti-poluição).
3.6 material de isolamento: silicato de alumínio algodão;
3.7 Refrigeração intermediária: refrigeração a ar intermediária


4, sistema de controle de temperatura
O controlador 4.1 usa uma tela táctil PLC 2 em 1 para controlar as duas câmaras de forma independente e alternar a qualquer momento.
4.2 Medição de temperatura: uso de resistência especial de platina com platina;
4.3 Sistema de controle de nitrogênio: sistema de nitrogênio de controle inteligente com medidor de fluxo duplo.
5, medidas de proteção de segurança perfeitas: interruptor de vazamento / / proteção contra a sobretemperatura / / proteção contra a falta de fase / / proteção contra a corrente de sobrecarga do motor / / alerta de zumbidor anormal da máquina

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