Microscópio de força atómica Park Systems XE-15

Descrição do instrumento:

O Park XE-15 é totalmente compatível com amostras. Suas múltiplas mesas de amostragem são projetadas para fornecer um ambiente de teste conveniente e confiável para amostras de diferentes tamanhos, formas e quantidades. O scanner XY de circuito fechado desacoplado elimina os erros do efeito de curvatura e fornece a linearidade. O verdadeiro modo de varredura sem contato amplia a variedade de amostras adequadas, ao mesmo tempo que prolonga significativamente a vida da sonda e reduz os custos de uso.

Parâmetros técnicos do microscópio de força atómica Park Systems XE-15:

Scanner

Scanner XY

Scanner de módulo único de controle de circuito fechado guiado flexível

Escala de varredura 100μm * 100μm (opcional 50μm * 50μm)

Deslocamento plano: <2nm (varredura de 40μm * 40μm)

Scanner Z

Scanner poderoso guiado flexível

Alcance de varredura 12μm (25μm opcional)

Frequência de ressonância: > 5kHz

Ruído de imagem de superfície: 0,03 nm

Banco de amostras

Tipo de mesa de amostra: mesa de amostra de 16 pontos / mesa de adsorção a vácuo de 150 mm de diâmetro (mesa de adsorção a vácuo de 200 mm de diâmetro opcional)

Tamanho da amostra: 150mm * 150mm * 20mm

Peso da amostra: zui grande 500g

Área de movimento da mesa da amostra: 150mm * 150mm (opcional 200mm * 200mm)

Características principais:

I. Design inovador de banco de amostras de múltiplos pontos para fornecer eficiência de trabalho

• Pode digitalizar até 16 amostras em uma única operação

Instalação simples da amostra e digitalização rápida

• Melhor precisão e repetibilidade dos dados

Apoiar amostras grandes para atender às necessidades de desenvolvimento da indústria

●zui grande suporte 200 mm wafer para atender às necessidades atuais e futuras dos usuários

• Design específico para atender às necessidades reais dos usuários relacionados com semicondutores

Escolha rica de modelos funcionais

Suporte perfeito para várias funções SPM

Suporte a vários modos de medição opcionais

● Suporte a uma variedade de acessórios opcionais para o desempenho superior da extensão