EBSD， O nome completo de difração de retrodispersão de eletrões, a principal característica é manter as características convencionais do microscópio de eletrões de varredura ao mesmo tempo que a difração de resolução espacial de sub-microns, dando dados de cristalização.

Exemplo 1

Resultados EBSD de amostras de carboneto de tungstênio/cobalto obtidas em condições de 20kV

Teste SEM-EBSD de bolas de solda em placas PCB

Observação in situ da mudança de fase γ→α em aço de baixo carbono

Dados de tensão em EBSD in situ da liga Al

Exemplo 2 A tecnologia TKD coaxial foi usada para testar a estrutura de nanocamada de cobre gêmeo nanocristalino e distinguir a estrutura de camada gêmeo em escala de 2nm

Gráfico PQ com superposição IPFX e distribuição angular no segmento central do gráfico