Características técnicas da gravadora ultravioleta de profundidade URE-2000/17:
Alinhamento com microscópio de campo binocular; Ajustamento da tigela de bola, controle de máquina de um único chip, interruptor de toque, fácil operação e grande utilidade.
1Parâmetros técnicos
lÁrea de exposição:4Polgadas
lComprimento de onda de exposição:365nm
lResolução:1.5mm(espessura2 mmde cola)
lPrecisão de alinhamento:±1mm
lÁrea de movimento geral da máscara:X:15mm;Y:15mm
lTamanho da máscara:2.5polegadas,3polegadas,4polegadas,5Polgadas
lTamanho da amostra: Diâmetrof15mm--f100mm
Espessura0.1mm--6mm(Expandável para15mm)
lModo de exposição: temporização (modo de contagem regressiva) e dose fixa
lDesuniformidade da iluminação: 5%(f100mmâmbito)
lMicroscópio de alinhamento de campo de visão duplo: tanto através dos óculosVisãoAlinhamento, também é possívelCCD+Alinhamento do monitor, imagem óptica, múltiplo óptico máximo400vezes, óptica.+Ampliação eletrônica800vezes
Três objetos:4vezes,10vezes,20vezes
Três óculos:10vezes,16vezes,20vezes
lMáscara em relação ao curso de movimento da amostra:
X:±5mm; Y:±5mm;q:±6grau
lPotência da lâmpada de mercúrio:200W(Corrente contínua)
lDensidade de energia de exposição:6mW/cm
2Dimensões:650mm(comprido)?600mm(Largura)?900mm(Alto)
3Configuração
(1Cabeça de Exposição
l200WImportação de lâmpadas de mercúrio de alta pressão DC(Osram, Alemanha)
lXYZRegulador de lâmpadas de mercúrio
lSistema óptico
lVentilador de arrefecimento
(2(Alinhamento da mesa de trabalho)
lMáscara amostra todo o desporto
lMáscara de amostra de movimento relativo
lMesa giratória
lAgência de alinhamento de amostras,Manual
lMecanismo de foco da amostra, manual
lEstúdio3um (f50mm、?75mm、?100mm)
lClip Máscara4um (2.5polegadas,3polegadas,4polegadas,5polegadas)
lMáscara com mecanismo de puxa para cima e para baixo
(3Alinhamento do microscópio
lFonte de luz (acessórios)2Somente, energia
lMicroscópio de alinhamento de campo de visão duplo
lóculos3Sim.10vezes,16vezes,20vezes, no total.6um)
lObjetivos3Sim.4vezes,10vezes,20vezes, no total.6um)
lCCD(Taiwan)
l21Monitor LCD de polegadas
(4Sistema de controle eletrônico
lLâmpadas de mercúrio disparam energia(200WLâmpadas de mercúrio de corrente contínua)
lSistema de controle de uma única máquina
lCaixa de controle
(5Sistema Pneumático
lCilindros, válvulas eletromagnéticas, válvulas de redução de pressão, interruptores pneumáticos, etc.
lMotor de válvula eletromagnética
lInstrumentos pneumáticos
(6Outros anexos
lBomba de vácuo 1
lTubos
(7(Informações técnicas)
lInstruções de manutenção
lInstruções de uso do microscópio
