1Características técnicas

lMicroscópio de campo binocular de alta magnificação e22LCD de tela larga de polegadas observa o processo de alinhamento ao mesmo tempo e forneceUSBexportação; Para alinhamento de alta precisão e para detecção de resultados de exposição e armazenamento conveniente

lCom iluminação inversa, a substituição de lâmpadas de mercúrio é mais conveniente e a dissipação de calor e a proteção contra fugas de luz são melhores

lTrabalho em duas estações de alinhamento e exposição, alternação automática de duas estações

lUtilização de computadores incorporados+Operação de tela táctil, operação mais conveniente e mais elegante

lA edição é muito conveniente, alto grau de automação e fácil de operar. Ensino e pesquisa científica em universidades (boa confiabilidade, demonstração fácil) e fábricas(Alta eficiência)Especialmente adequado

2Parâmetros técnicos

lÁrea de exposição:100mm×100mm(Pode ser atualizado para6polegadas)

lComprimento de onda de exposição:365nm

lResolução:≤1mm(espessura1.5 mmde cola)

lPrecisão de alinhamento:±0.6mm

lÁrea de movimento da mesa de varredura do microscópio:X：10mm;Y:10mm

lTamanho da máscara:2.5polegadas,3polegadas,4polegadas,5Polgadas

lTamanho da amostra: Diâmetrof15mm--f100mm(Vários filmes irregulares)

Espessura0.1mm--6mm

lModo de exposição: temporização (modo de contagem regressiva) e dose fixa

lExposição ao vácuo, exposição ao contacto rígidoLuz4 funções de exposição a pressão e exposição de proximidade

lDesuniformidade da iluminação: 3%（f100mmâmbito)

lMicroscópio de alinhamento de campo de visão duplo: tanto através dos óculosVisãoAlinhamento, também é possívelCCD+Alinhamento do monitor, imagem óptica, múltiplo óptico máximo400vezes, óptica.+Ampliação eletrônica800vezes

Três objetos:4vezes,10vezes,20vezes

Três óculos:10vezes,16vezes,20vezes

lA regulação da pressão de contato garante repetição através do sensor

lConfiguração digital de intervalos e intervalos de alinhamento

lCom interface de módulo de impressão e também com interface de módulo próximo

lMáscara em relação ao curso de movimento da amostra:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lEspessura máxima:400mm（SU8cola, o usuário fornece condições de teste)

lParalelismo da fonte de luz:3?

lDensidade de energia de exposição:>25mW/cm2,Temperatura da superfície da iluminação<35?C

lExposição de camada única com um clique

lUtilização de bola flutuante+Trois garras em plano

lPotência da lâmpada de mercúrio:350W(corrente contínua,Importação）

3Dimensões:1400mm(comprido)?900mm(Largura)?1500mm(Alto)

4Configuração

（1Cabeça de Exposição

lElíscopo de luz fria

l350WImportação de lâmpadas de mercúrio de alta pressão DC(Osram, Alemanha)

lXYZRegulador de lâmpadas de mercúrio

lVentilador de arrefecimento

lSistema óptico: barra de luz fixa, barra de luz variável, obturador, espelho recto1Espelho direto2Grupo de lentes de olho de mosca (79uma lente),iFiltro de linha, espelho de campo, reflexo de luz fria1Espelho reflexivo2

（2(Alinhamento da mesa de trabalho)

lBase da gravadora

lEstação de troca (cilindro)

lMáscara amostra todo o desporto

lMáscara de amostra de movimento relativo

lMesa giratória

lAgência de alinhamento de amostras,Completação automática de três pontos

lMecanismo de ajuste de amostra, ajuste automático do motor

lMecanismo de extração de substrato

lEstúdio4um:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(Pode ser reduzido a pedido do usuário)

lClip Máscara4um:2.5polegadas,3polegadas,4polegadas,5Polgadas (podem ser aumentadas ou diminuídas de acordo com o pedido do usuário)

lMecanismo de extração de amostras

（3Alinhamento do microscópio

lfonte de luz, Alimentação

lMicroscópio de alinhamento de campo de visão duplo

lóculos3Sim.10vezes,16vezes,20vezes, no total.6um)

lObjetivos3Sim.4vezes,10vezes,20vezes, no total.6um)

lCCDsistema de alinhamento,22Monitor LCD de polegadas

（4Sistema de controle eletrônico

lLâmpadas de mercúrio disparam energia(350WLâmpadas de mercúrio de corrente contínua)

lSistema de controle de uma única máquina

lPainel de controle

lMesa de controle

（5Sistema Pneumático

lCilindros, válvulas eletromagnéticas, válvulas de redução de pressão, interruptores pneumáticos, etc.

lMotor de válvula eletromagnética

lInstrumentos pneumáticos

（6Outros anexos

lBomba de vácuo 1

lCompressor de ar 1

lTubos de interface de suporte

（7(Informações técnicas)

lInstruções de manutenção

lCertificado de inspeção de produtos