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Microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo de ultra-alta resolução Série SU8600
Com o rápido desenvolvimento da tecnologia de coleta de dados e processamento de dados, o microscópio eletrônico entrou em uma era que valoriza não ap
Detalhes do produto
Microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo de ultra-alta resolução Série SU8600
Com o rápido desenvolvimento da tecnologia de coleta de dados e processamento de dados, o microscópio eletrônico entrou em uma era que valoriza não apenas a qualidade dos dados, mas também o processo de sua coleta. A série SU8600 baseia-se na tecnologia de imagem de campo frio de alta qualidade, análise de grande fluxo e operação estável por longos períodos da série Regulus 8200, ao mesmo tempo que melhora significativamente a capacidade de aquisição automática de dados de alto fluxo.
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- As fotos do dispositivo incluem opções.
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Características
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Especificações
Características
Características
Imagem de alta resolução
A fonte eletrônica de alto brilho da Hitachi garante a obtenção de imagens de alta resolução, mesmo em tensões de pouso ultra-baixas.
Exemplos de zeolita tipo RHO observados em condições de tensão de 0,8 kV. A imagem esquerda é a forma da partícula como um todo, a imagem direita é a imagem ampliada, e a estrutura de degraus sutil da superfície da partícula é claramente visível. Observações de baixa tensão são mais eficazes para reduzir danos ao feixe de eletrões e obter informações sobre a forma da superfície.
Amostras fornecidas: Instituto Integrado de Tecnologia Industrial do Japão
Imagem de dispersão de volta de baixa aceleração com revestimento alto
Observação em secção 3D NAND;
Em condições de baixa tensão de aceleração, o sinal eletrônico retrodisperso pode mostrar claramente a diferença de revestimento entre a camada de óxido de silício e a camada de nitreto de silício.
Observação em secção 3D NAND (tensão acelerada: 1,5 kV)
Imagens rápidas de BSE: um novo detector de eletrônicos de dispersão traseira (OCD)*
Graças ao uso de um novo detector OCD, imagens nítidas de estruturas profundas do Fin-FET ainda podem ser observadas mesmo com menos de um segundo de digitalização.
Observação da estrutura interna do SRAM de processo de 5 nm (tensão acelerada: 30kV, tempo de varredura < 1 segundo)
Automação avançada*
O EM Flow Creator permite que os clientes criem fluxos de trabalho automatizados para a coleta contínua de imagens. O EM Flow Creator define diferentes funções de SEM como módulos gráficos, como definir a ampliação, mover a posição da amostra, ajustar a distância focal e o contraste de luz e escuridão. Os usuários podem simplesmente arrastar e arrastar os módulos em uma ordem lógica para formar um programa de trabalho. Após depuração e confirmação, o programa obtém automaticamente dados de imagem de alta qualidade e reprodutíveis a cada chamada.
Interface de usuário flexível
Suporte nativo para monitores duplos para um espaço operacional flexível e eficiente. Os 6 canais são exibidos e salvos simultaneamente para uma rápida observação e captação de múltiplos sinais.
Os sinais de 1, 2, 4 ou 6 canais podem ser exibidos simultaneamente no mesmo monitor, incluindo os detectores SEM e as câmeras da câmara de amostras e da câmera de navegação. O espaço de trabalho pode ser expandido usando dois monitores e a interface do usuário pode ser personalizada para aumentar a produtividade.
Especificações
| Modelo | Série SU8600 | |
|---|---|---|
| Sistema óptico eletrônico | Resolução eletrônica secundária | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Ampliar | 20 to 2,000,000 x | |
| Pistola eletrônica | Fonte eletrônica de emissão de campo frio com suporte à função de piscar flexível, incluindo um sistema de assado por ánodo. | |
| Tensão acelerada | 0.5 to 30 kV | |
| Tensão de pouso | 0.01 to 20 kV | |
| Detectores | (parcialmente opcional) | Detector superior (UD) |
| Filtro de energia UD ExB com mistura de sinais SE/BSE | ||
| Detector inferior (LD) | ||
| Detector superior (TD) | ||
| Filtro de energia TD | ||
| Detector eletrônico de dispersão traseira no espelho (IMD) | ||
| Detector eletrônico de retrodispersão semicondutor (PD-BSED) | ||
| Novo detector eletrônico de dispersão traseira (OCD) | ||
| Detector de fluorescência catódica (CLD) | ||
| Detector de transmissão de varredura (STEM Detector) | ||
| Acessórios | (parcialmente opcional) | Câmera de navegação, câmera de câmara de amostras, espectrómetro de energia de raios-X (EDS), detector de difração eletrônica de dispersão posterior (EBSD) |
| Software | (parcialmente opcional) | EM Flow Creator, Captura HD (até 40.960 x 30.720 pixels) |
| Banco de amostras | Eixo do motor | Motor de 5 eixos (X/Y/R/Z/T) |
| Eixo do motor | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Sala de amostras | Tamanho da amostra | Diâmetro máximo: 150 mm |
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- No modo de redução
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