Pressômetro capacitivo de vácuoAplicações
Forno de vácuo
Embalagem a vácuo
Esterilizador de plasma
Secação por congelamento
Destilação a vácuo
Indústria petroquímica
Indústria de Semicondutores
Equipamento de processo PECVD/ALD
Equipamento de processo de gravura de plasma
Pressômetro capacitivo de vácuo Características principais
Conexões padrão da indústria
Alta precisão: leitura padrão ± 0,5%, leitura opcional ± 0,25%
Filmes de precisão garantem excelente desempenho
Ampla gama de compensação de temperatura de funcionamento
Baixo ruído e resposta rápida
Não é vulnerável a mudanças nas condições ambientais
Excelente design contra sobretensão
Forma do produto

Valores nominais de sobrecarga e pressão de explosão
Especificações técnicas
| Dimensão | 10Torr. A/1,33 kPa. Um |
| Precisão | ± 0,5% de leitura; ±0,25% de leitura (opcional) |
| Tensão de trabalho | (18 ~ 24) V DC |
| Sinal de saída | (0 ~ 10) V DC |
| Temperatura de funcionamento | (10~50)℃ |
| Média de medição | gás |
| Conexões elétricas | Interface analógica de 9 pins |
| Conexão de processo | O KF16 |
| Tempo de pré-aquecimento | 10 minutos |
| Materiais da carcaça | aço inoxidável |
| Materiais de aquecimento | 镍基合金 |
Definição de cablagem

